制造7nm芯片技术兴起,英特尔通过第2种方法绕过EUV光刻机

2023-10-24 22:16:59 字數 1479 閱讀 6572

制造7nm芯片技术兴起,英特尔通过第2种方法绕过euv光刻机。

现在的半导体生产,都是建立在光刻的基础上,光刻机是不可或缺的。

而根据光刻技术的不同,可以分为极紫外光刻、深紫外光刻、krf光刻、g线i线等等。duv也可以细分为渗透式光刻机和干式光刻,这两种方法都有各自的优缺点。

7纳米及以上的euv是7纳米及65纳米的渗透式,65至130纳米的干式光刻,130纳米至350纳米的krf,350纳米以上的g线路/i线。

但是,目前只有asml才能制造出euv光刻机,可以说是全世界高端光刻机都被asml给掐住了,在asml不**euv的情况下,世界上没有任何一家企业,可以在7nm以下的制程上取得突破。

这让其他公司无法接受,于是各大公司都在研究,新的euv光刻机。

比如佳能公司,就把赌注压在了nil上,把集成电路的电路雕刻在一个印章上,然后盖在硅片上,就成了一块芯片。

佳能公司说,在2023年之前,他们会研发出5纳米芯片,让所有人都不用euv光刻机,到了2023年,才有可能成功。

最近,很多公司都在讨论一项新的技术,英特尔公司宣布,他们已经取得了重大进展,他们成功地攻克了18nm制程,并成功地将其推向了5nm制程。

这是一项名为dsa的自动组合技术,这个概念并不新鲜,早在十年前就已经出现了。简单来说,就是将硅片上的化学物质,进行化学侵蚀,然后在芯片的操控下,制作出相应的电路。

但一开始的时候,这个工艺有很大的缺点,而且制造的图形控制能力也很差,所以很多人都忽略了,自从euv光刻出现后,所有人都用euv光刻了,很少有人会做dsa。

然而摩尔定律即将结束,光刻技术也不能满足摩尔定律,于是nil和dsa又开始流行起来,人们认为,nil和dsa可能会延长摩尔定律的寿命。

经过英特尔的研究,他们成功地制造出了一种基于dsa的euv光刻工艺,可以制造出18纳米的金属间隔,并且具有稳定的电学特性,这让所有人都开始关注dsa。

虽然从18nm升级到5nm,还有很长的一段路要走,但大部分公司都对此充满了自信,认为dsa完全可以将euv技术做的更好。

因此,在将来,euv、dsa、nil三者孰优孰劣,只能拭目以待了。

但不得不说的是,无论是数字减影(dsa),还是nil(nil),euv(euv),中国都比较差,大部分的技术,都被美国的asml公司垄断,而日本的nil公司则由佳能公司生产,数字减影(dsa)则由美、欧两家生产,因此中国要努力了。

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