一、电阻测试仪测试原理：
当四根金属探针排成一条直线，并以一 定压力压在半导体材料上时，在1, 4两根探针间通过电流i,则2, 3探针间产生电位差v(如图所示)。
根据公式可计算出材料的电阻率：
其中，c为四探针的探针系数(cm),它的大小取决于四根探针的排列方法和针距。
二、仪器操作：
(一)测试的准备：
1 ,将电源插头插入仪器背面的电源插座电源开关置于断开位置；
2,工作方式开关置于＇短路"位置电流开关处于弹出位置；
先将电源开关置于开启位置，同量选择开关置于“短路”,出现数字显示，通电预热半小时。
3,将手动测试架的屏蔽线插头与电=气箱的输入插座连接好；
4,对测试样品进行一定的处理(如喷沙，清洁等);
5,调节室内温度及湿度使之达到测试要求。
(二)测试：
先将电源开关置于开启位置测量选择开关置于"短路" ,出现数字显示，通电预热半小时。
1,放好样品压下探失，将测量选择开处置于”刻量”位置，板性开处置于开关上方；
2.选择适当的电压量程和电流量程，数字显示基本为0000”,著末位有数字，可旋转调零调节能好使为0000";
3.将工作方式开关置于"1调节"按下电流开关。资动电流调节旋钮，使数字显示为"1000”读值为各电流量程的满量程值；
4.再将性开笑压f.便数显也为1000+1,温出电源开关将工作方式开关置于1或06.28处(探头问距为1.59mm时置于1位置问距为1mm时置于6.28位置):
师节电流后。上述步疆在以后的肉量中可不必重复：只要调节好后，接下电流开关，可由政显直接读出测量值)
5.若数显爐灭，仅剿”1"表示超出该量程电压值；
6,读数后，将性开关拨至另一方，可读出负性时的魔量值，将两次测量值取平均数即为样品在该处的电阻率值。
三、注意事项：
1.压下深头时压力要适中，以免想坏探针。
2.由于样品表面电阻可松分布不均，8量时应对一个样品多测几个点然后取平均置：
3.样品的实际电阻率还与其厚度有关，还需查时中的厚魔修正案数，进行惨正。
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