FIB双束扫描电镜的工作流程

2023-11-08 14:06:01 字數 812 閱讀 8661

蔡司**昆山友硕介绍聚焦离子束+扫描电镜结合而成了fib-sem扫描电镜,那么fib双束扫描电镜的工作流程是怎样的呢?今天友硕就给大家介绍下:

1、执行激光加工的设置步骤。

1)将样品装载到样品夹上并传送到双束电镜主舱室。 (2)导入、覆盖和对齐蔡司关联工作区的三维x射线数据或二维光学显微镜图像等。 (3)找到您的感兴趣区域,获取参考图像。

2、对齐扫描电镜和激光坐标 (1)使用sem扫描四个样品架基准点以锁定样品和sem坐标。 (2)将样品运送到集成飞秒(fs)激光室。 (3)使用飞秒激光扫描四个样品架基准点以锁定样品和激光坐标。 (4)sem和激光坐标现已对齐。

3、加工大量材料。

1)绘制您的激光图案。 (2)**您的激光图案。 (3)以优于2μm的目标精度快速去除大量材料。 4、将样品传送到双束电镜主舱室,让您的双束电镜继续工作 (1)已经能够观察到微结构细节。 (2)根据高分辨率成像的需要执行fib抛光。 (3)使用新颖的工作流程创建tem和原子探针样品。 (4)通过即时sem反馈,快速优化激光方案。更多蔡司产品信息请进主页右侧zx昆山友硕。

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