国民光刻机：上海微电子产业链相关**综合榜单！
一）持有上海微电子股权。
1）张江高科：通过子公司上海张江浩成创业投资***拥有微装配公司10.779%的股本；投资以上海微电子装备、华勤通讯为代表的多家优质集成电路企业，将实现“中国芯片”，国产光刻机的突破。
2）上海电气：拥有上海微电子27%股本，为其第一大股东；是国内规模最大、产品门类最齐全的印刷机械及相关设备专业制造商，印刷包装机械等产品国内市场占有率第一。
3）东方明珠：控股子公司间接持有上海微电子股份；拥有中国最大、最全、最具特色的内容版权库和中国最大的多渠道**集成分发平台，涵盖数字营销、主机游戏和电视。购物、文化、娱乐和旅游等传媒相关服务业。
二)上海微电子**商。
1）sud**ige：为上海微电子提供半导体投影光刻机光栅组件；其核心能力和核心竞争力是掌握微纳光刻、纳米印刷和衍射光学等底层技术，是行业内为数不多的企业之一。微纳光刻是国内拥有完整纳米结构制造产业链的企业之一。
2）海立集团***海立集团与上海微电子装备集团领导就项目合作、产品组合等进行了深入**。从封装光刻机冷却系统的组合开始，双方将进一步提升合作水平，逐步从组件级**合作转向系统级**合作。
3）电科数码：在先进制造领域，旗下百飞电子为领先的轨道交通企业提供信号控制产品，为半导体设备制造商提供光刻机控制器。
4）富创精密：光刻机、胶水显影、涂胶设备中使用的各种结构部件（基板、冷却板等）。其主要客户包括上海微电子和鑫源微。
5）美爱科技：为上海微电子装备（集团）**提供efu，在开发首台设备28nm光刻机所需的机台上开发国际最高洁净等级标准（isoclass1）的洁净环境来自中国。（超薄设备自带风扇过滤单元）和ulpa（超高效过滤器）等产品，帮助国内光刻机行业攻克卡脖子的技术难题。
6）新来家电材料：光刻机的相关工艺需要在超高真空和特殊气体条件下完成。advantorr品牌的真空产品和nanopure品牌的气体产品可应用于光刻机设备。其客户包括光刻设备制造商。
7）茂莱光学：为光刻机光学系统提供光均匀性的光学器件和中继照明模块、投影物镜和工件台位移测量系统的棱镜组件，这是实现光刻机光均匀性的关键。带有展览**的关键模块机器。
8）炬光科技：多年来一直为半导体光刻应用提供光刻机**系统中的核心激光光学部件：光场均化器（《应用说明书》中的“光场均化器-光刻”），供货给a公司全球领先的光学公司，最终应用于全球高端光刻机制造商的核心设备，同时公司与国内该领域的研发单位保持着广泛的合作。国内重大光刻机研发项目及样机。
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